نسخه آزمایشی

تاریخ اظهارنامه: 1398/02/25
شماره ثبت : 102632
وضعیت اعتبار: اعتبار دارد

تاریخ ثبت: 1399/07/27
طبقه بندی بین المللی: H03F 3/54 H01P 5/04 H01P 7/04 G01R 27/02


خلاصه اختراع :

در راستاي بكارگيري سيستم هاي توليد پلاسما در كاربردهاي متفاوت نياز به طراحي و ساخت پلاسماي با چگالي بالاتر است، بنابراين يكي از پلاسماهاي چگال، پلاسماي ميكروويو مي باشد. طرح هايي بسياري طي سال هاي اخير براي ساخت اين نوع منابع پلاسما ارائه شده اما در هيچ كدام به تطبيق هوشمند امپدانس در پلاسما و عملكرد در فشارهاي كاري متفاوت نپرداخته اند. در اين نوع منابع پلاسما، تطبيق امپدانس اوليه اي معمولا توسط طراحي موجبر انجام داده اند و سيستمي را جهت تطبيق امپدانس ارائه نداده اند و همچنين در يك محدوده مناسب از فشار گاز مورد استفاده قرار مي گيرند. در صورتي كه در تمام منابع توليد پلاسما با امواج، تطبيق امپدانس نشان دهنده انتقال بيشترين توان موج اعمالي به سيستم پلاسما مي باشد. در اختراع موردنظر، جهت برطرف كردن مشكل تطبيق امپدانس در اين نوع سيستم ها و بررسي اين عامل در شرايط مناسب از يك سيستم مكانيكي و الكترونيكي جديد استفاده شده است. براساس سيستم هاي مكانيك و الكترونيك، اختراع عنوان شده شامل اجزايي است كه مي تواند موج از مگنترون(منبع توليد موج) توسط مبدل توان به يك كابل كواكسيال انتقال مي يابد، موج از طريق كابل كواكسيال وارد محفظه اصلي يا كاواك خواهد شد، همزمان با آن فيدتروي متحرك توسط چند چرخ دنده و موتور وارد محفظه مي شود. فيدتروي متحرك، با دقت يك دهم ميلي متر با حركت دادن يك رينگ در داخل كاواك تطبيق امپدانس را با دقت بالايي انجام مي دهد. بنابراين، تطبيق هوشمند امپدانس در پلاسما و عملكرد در فشارهاي كاري متفاوت به هدف افزايش چگالي پلاسما، مزيت هاي بارز اين اختراع مي باشد، كه روش هاي پيشين اين برتري ها را شامل نبوده اند.

لینک کوتاه این صفحه : darkob.co.ir/nyK44v7Ke

جهت استفاده از امکانات زیر در این صفحه به حساب کاربری خود وارد شوید و مراحل تایید امتا را به اتمام برسانید.

- نمایش لینک این اختراع در اداره ثبت اختراعات ایران

- ارسال پیام به مالک / مخترع این اختراع (لطفا جهت سوال در خصوص اختراع با شماره های موسسه نوفن تماس نگیرید، پس از ثبت نام در سایت دارکوب، میتوانید به اختراع پیغام دهید)

- نمایش اطلاعات تکمیلی (عکس، متن، و نحوه همکاری) این اختراع

دیگر اختراع/اختراع ها با مالک/مخترع مشابه

Loading...