عنوان اختراع: طراحی و ساخت سامانه حرارت دهی سریع(RTP)
اظهارنامه: 1390/03/24
اظهارنامه: 390030744
ثبت: 1390/04/28
ثبت: 70695
مالک/مالکان: الهه رضایی - رضا افضل زاده - معصومه صالحی
وضعیت اعتبار: اعتبار ندارد
مخترع/مخترعان: معصومه صالحی - الهه رضایی - رضا افضل زاده
فایلهای ضمیمه (فقط با اینترنت داخلی):
خلاصه اختراع
محفظه RTP طراحی شده، از بخش اصلی تشكیل شده است. نیمه بالایی و نیمه پایینی محفظه نیمه بالایی محفظه محل قرار گیری لامپ های هالوژن – تنگستن و صفحه ی بازتابنده بالتر از لامپ ها قرار می پیرد و نیمه پایینی محفظه محل بارگیری ویفر سیلیكونی است. این دو بخش توسط یك شیشه تخت كوارتز از هم جدا شده اند. روی بدنه نمیه پایینب محفظه ، 3 دریچه جهت اتصال، شیرهای ورودی گاز، اتصالات خلا و خلاسنج تعبیه شده است.
ارسال پیام
دسترسی اختراع
مخترع مشابه